日立高新超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000

日立高新超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專(zhuān)門(mén)為電子束敏感樣品和需300萬(wàn)倍穩(wěn)定觀(guān)察的半導(dǎo)體器件，高分辨成像所設(shè)計(jì)。
紫外臭氧清洗機(jī)常用于掃描探測(cè)顯微鏡的樣品應(yīng)用，我們的設(shè)備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)和表面上常規(guī)的油漬層和殘留的無(wú)機(jī)材料，也能用來(lái)改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學(xué)改性，經(jīng)過(guò)氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過(guò)程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側(cè)向分辨率。
    PSD系列產(chǎn)品是數(shù)字控制的臺(tái)式清洗設(shè)備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設(shè)備配備一個(gè)帶反射罩的高強(qiáng)度UV格柵燈盤(pán), 和可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái)，用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統(tǒng)具有進(jìn)出氣接口。該系統(tǒng)由一個(gè)方便的預(yù)設(shè)置控制器控制，非常容易操作。
? 預(yù)設(shè)置的數(shù)字控制器
? 方便簡(jiǎn)單的兩按鍵操作
? 自動(dòng)工作：15.30.60.120分鐘
? 工作進(jìn)程可以在任何時(shí)候手工終止
? 系統(tǒng)不能提供加熱盤(pán)選項(xiàng)
? 經(jīng)濟(jì)實(shí)用的設(shè)計(jì)使得PSD系列成為的選擇

• 新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。

• 0.4nm / 30kV（SE）

• 1.2nm / 1kV（SE）

• 0.34nm / 30kV（STEM）

• 用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)高效率截面觀(guān)察。

• 采用設(shè)計(jì)的Super E x B能量過(guò)濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。
  

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